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纳米制造,测量先行。研制高精度的纳米级标准物质,是打造高准确度纳米测量传递链,提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。标准物质研制单位同济大学相关专家介绍,二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术,制备难度较大,可直接溯源到自然界量子化物理常数(铬原子跃迁频率),角度绝对准确性在0.001°量级,相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm,在没有划伤或破坏的状况下,每次使用2μm×2μm,不重复使用测量区域次数可达20000次以上。可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准,也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。

🏃(撰稿:司徒乐林)

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    • 樊瑗会🔹LV2六年级
      2楼
      《焦点访谈》 20241004 开辟中国式现代化广阔前景 推进高水平对外开放☖
      2024/10/12   来自兰州
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    • 🍁农善咏LV7大学四年级
      3楼
      中国女性更应控制碳水化合物摄入❙
      2024/10/12   来自河源
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    • 湛毅兴❓LV6幼儿园
      4楼
      国家能源局:寒潮天气下人民群众用能有保障👌
      2024/10/12   来自清远
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    • 幸嘉轮LV3大学三年级
      5楼
      今日辟谣(2024年9月5日)💤
      2024/10/12   来自渭南
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    • 孟彪平🔲☘LV7大学三年级
      6楼
      银行信贷资金严禁违规进入股市✣
      2024/10/12   来自福清
      5回复
    • 李杰姣LV2大学四年级
      7楼
      专访丨中欧“要互相支持,而非相互阻碍”——访德国巴伐利亚州副州长艾旺格🚠
      2024/10/12   来自香格里拉
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