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纳米制造,测量先行。研制高精度的纳米级标准物质,是打造高准确度纳米测量传递链,提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。标准物质研制单位同济大学相关专家介绍,二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术,制备难度较大,可直接溯源到自然界量子化物理常数(铬原子跃迁频率),角度绝对准确性在0.001°量级,相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm,在没有划伤或破坏的状况下,每次使用2μm×2μm,不重复使用测量区域次数可达20000次以上。可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准,也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。

🧠(撰稿:殷兴翰)

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    • 赫连纪嘉😏LV6六年级
      2楼
      2020年江苏体彩蝉联全国销量第一,筹集公益金52.18亿元♐
      2024/10/12   来自增城
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    • 🎺瞿蝶希LV7大学四年级
      3楼
      漫评美拟禁止网联汽车使用中国软硬件:"强行切断"🐚
      2024/10/12   来自秦皇岛
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    • 谭承辉🐑LV2幼儿园
      4楼
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      2024/10/12   来自四平
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    • 苗政黛LV9大学三年级
      5楼
      中青评论:95后获4个博士,真才实学还是“假装学术”?🅾
      2024/10/12   来自吉安
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    • 鲁亨育🦊🗝LV8大学三年级
      6楼
      今日辟谣(2024年9月30日)➡
      2024/10/12   来自巢湖
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    • 洪翠秋LV8大学四年级
      7楼
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      2024/10/12   来自莱西
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