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纳米制造,测量先行。研制高精度的纳米级标准物质,是打造高准确度纳米测量传递链,提升国产纳米制造产品质量可靠性的关键。标准物质研制单位同济大学相关专家介绍,二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术,制备难度较大,可直接溯源到自然界量子化物理常数(铬原子跃迁频率),角度绝对准确性在0.001°量级,相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm,在没有划伤或破坏的状况下,每次使用2μm×2μm,不重复使用测量区域次数可达20000次以上。可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准,也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。

❠(撰稿:茅江达)

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    • 奚瑾娟🎂LV9六年级
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      数藏故事丨翻开《清明上河图》,感受“人间食味”❱
      2024/10/13   来自西藏
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    • ☦阮顺雁LV0大学四年级
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      2024/10/13   来自潍坊
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    • 浦达桂🚾LV5幼儿园
      4楼
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      2024/10/13   来自青岛
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    • 王思雯LV5大学三年级
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      2024/10/13   来自肥城
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    • 欧宁明🎫👆LV1大学三年级
      6楼
      在西班牙“边缘”加泰罗尼亚的街头政治观察(下)🚣
      2024/10/13   来自菏泽
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    • 符融紫LV4大学四年级
      7楼
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